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主要技术参数
材料预处理:采用碱性溶液去除表面油污
感光膜涂布:辊涂法在钢板表面形成20-50μm光阻层
紫外曝光:通过菲林掩模转移设计图案
显影处理:碳酸钠溶液溶解未固化光阻
化学蚀刻:温度控制在40-50℃的蚀刻槽中进行
脱膜清洗:氢氧化钠溶液去除残余光阻
尺寸检测:三维测量仪验证加工精度
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