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高 精 度:蚀刻尺寸精度可达微米级,深度控制达纳米级
超薄材料处理:可加工厚度从几微米到几十微米的材料
高 均 匀 性:真空环境减少了环境因素对蚀刻过程的干扰
自动化程度高:配备自动上下料系统,适合批量生产
多 工 艺 兼 容:可根据需求选择不同蚀刻技术
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