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超薄版真空精密蚀刻机

超薄版真空精密蚀刻机是工业制造中用于对超薄材料(如金属箔、超薄玻璃、柔性基板等)进行高精度蚀刻加工的专用设备。它结合了真空环境控制、精密运动系统和蚀刻工艺技术,主要用于电子、半导体、光电子、微机电系统(MEMS)等领域。
  • 所属分类 :
    蚀刻设备
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  • 发布时间 : 2025-08-30
  • 详细介绍

技术特点

高       精    :蚀刻尺寸精度可达微米级,深度控制达纳米级

超薄材料处:可加工厚度从几微米到几十微米的材料

高   均  匀  :真空环境减少了环境因素对蚀刻过程的干扰

自动化程度:配备自动上下料系统,适合批量生产

多 工 艺 兼 :可根据需求选择不同蚀刻技术

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