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主要技术参数1.外形尺寸：（长×宽×高）3540mm×2850mm×2350mm2.光刻分辨率:1㎛3.对准精度：≤±0.5㎛4.能量均匀性：≥85%5.曝光波长：350~3000mj/6.曝光时间：0~999.9s可调7.产能：3~4片/分钟
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