威登电子交付高精度全自动蚀刻产线，助力量产精度突破±0.02nm

常州威登电子设备有限公司（以下简称“威登电子”）于2024年6月正式向中航工业下属研究所交付高精度全自动蚀刻生产线。该产线将应用于新一代战机发动机涡轮叶片制造，解决高温合金微孔加工卡脖子难题。

产线核心搭载威登自主研发的多轴联动精密蚀刻舱，通过亚微米级喷淋压力控制系统和视觉补偿算法，使蚀刻公差稳定控制在±0.02nm范围内，较传统设备精度提升300%。同时集成废气废水零排放模块：酸性废气经两级碱液喷淋+活性炭吸附净化，排放浓度低于1mg/m³；含镍废水通过膜分离与电解回收技术，实现重金属回收率99%、水资源回用率超90%，完全符合GB31573-2015《无机化学工业污染物排放标准》特限值要求。

“该产线首次实现蚀刻工艺与六轴机器人的无缝协作，”威登技术总监在验收现场介绍，“机械臂自动抓取工件并匹配3D激光扫描定位，使复杂曲面零件加工效率提升50%，人工干预减少80%。”据测算，该产线每年可节约危废处理成本200万元，减少废水排放1.5万吨。

此次合作历时18个月，威登团队攻克了高温合金应力裂纹控制、微孔深宽比1：20等难题，获实用新型专利2项。项目标志着国产高端蚀刻装备正式进入航空制造核心供应链，为后续航天发动机、半导体光刻掩模版等项目奠定技术基础。